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    碳化硅微粉中影響質量的問題有哪些

    文章出處:原創網責任編輯:胡尊芳作者:王曉曉人氣:-發表時間:2017-05-29 16:31:00

      碳化硅中影響質量的參數 ,硅片切割主要是鋼線攜帶砂漿進行研磨的滾動式切割 ,而起主導作用的就是砂漿中的碳化硅 ,由于切割中碳化硅會與硅發生碰撞、摩擦 ,使得碳化硅部分顆粒不斷的磨損及破碎 ,從而影響了硅片切割的質量。在碳化硅幾個主要的參數當中 ,硬度、粒型、粒徑、圓形度及微粉含量在切割中起到了至關重要的作用 ,碳化硅硬度是受碳化硅生產的原料的硬度決定的 ,冶煉時間的長短決定了碳化硅的硬度 ,如果硬度過低 ,在切割過程中與硅碰撞摩擦 ,會導致顆粒被磨平鈍化 ,導致切割能力不足 ,最終會使硅片產生鋸痕;粒型與其破碎的工藝相關 ,如果顆粒當中長條狀、扁平狀顆粒較多 ,切割過程中就不會起到對硅的滾動摩擦 ,從而使切割能力下降 ,造成硅片鋸痕、切斜的發生。

      碳化硅生產過程中無法對相同粒徑的顆粒進行集中分離 ,但是顆粒較大與顆粒較小的碳化硅對切割質量都有不利影響 ,所以都會要求中值粒徑在某一范圍內;圓形度及微粉含量在回收碳化硅中體現尤為明顯 ,圓形度表征的是碳化硅棱角的鋒利程度 ,在硅片切割時 ,如果圓形度較大 ,即棱角平滑 ,會使切割能力不足導致硅片鋸痕的產生; 碳化硅的制作過程中尤其是碳化硅從廢砂漿回收過程中 ,微粉很難處理干凈 ,一般指粒徑小于2μm的顆粒 ,微粉存在過多的話 ,切割過程中微粉會對碳化硅形成包裹 ,從而使碳化硅的切割能力下降 ,影響硅片質量。
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    此文關鍵字:碳化硅 碳化硅微粉

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